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不同工藝進(jìn)程的電池芯片掃描電鏡圖像

閱讀:1790        發(fā)布時(shí)間:2022-5-10

不同工藝進(jìn)程的電池芯片掃描電鏡圖像

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綜述:

太陽(yáng)能電池又稱為“太陽(yáng)能芯片"或“光電池",是一種利用太陽(yáng)光直接發(fā)電的光電半導(dǎo)體薄片。它只要被滿足一定照度條件的光照到,瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產(chǎn)生電流。在物理學(xué)上稱為太陽(yáng)能光伏。太陽(yáng)能芯片的表面微觀形貌、原料和工藝對(duì)電池電性能影響很大,需要掃描電鏡進(jìn)行觀測(cè),從而控制電池質(zhì)量。

儀器介紹:  

EM科特掃描電鏡,根據(jù)樣品倉(cāng)大小或拓展分析附件能力,分為 CUBE系列掃描電鏡、GENESIS系列掃描電鏡、VERITAS系列掃描電鏡。

試驗(yàn)方法:

取不同工藝進(jìn)程的電池芯片直接放入掃描電鏡中觀察。快速觀察模式,照相時(shí)間 10s

結(jié)論:

EM科特掃描電鏡,可滿足硅太陽(yáng)能電池制造工藝控制檢測(cè)需要。采用CUBE臺(tái)式掃描電鏡或GENESIS系列掃描電鏡,需要切割芯片。使用VERITAS 系列掃描電鏡可觀察整塊芯片,無(wú)損檢測(cè)。

1、晶圓制絨結(jié)構(gòu)掃描電鏡圖像

1、晶圓制絨結(jié)構(gòu)掃描電鏡圖像.png

2、晶圓表面Saw damage etching

3、鋁漿電極掃描電鏡圖像


























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4、銀漿電極掃描電鏡圖像

4、銀漿電極掃描電鏡圖像.png

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