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產品簡介

墊圈式設計確保易于安裝，使其成為 MFC（質量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調節器的重要保護屏障。
多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護敏感氣體成分。

詳細介紹

用于半導體應用的多孔金屬墊片過濾器

保護精密氣體系統的可靠解決方案：
1）這款全金屬過濾器專為半導體氣體分配系統設計，可與 1/4“、3/8" 和 1/2“ VCR 標準墊圈接口無縫兼容。
2）墊圈式設計確保易于安裝，使其成為 MFC（質量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調節器的重要保護屏障。
3）多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護敏感氣體成分。
4）通過防止與污染相關的泄漏，延長設備使用壽命并降低維護成本。
5）該過濾器提供低壓和高壓兩種型號，可改裝到現有的管道系統中，為保護精密設備免受污染提供經濟高效的解決方案。