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產品簡介
大流量氣體過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003μm，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態環境下的理想過濾解決方案
詳細介紹
用于半導體應用的高純半導體大流量專用過濾器
產品介紹
大流量氣體過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003μm，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態環境下的理想過濾解決方案
產品特點
?不銹鋼粉末燒結介質，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結構
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環境內制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微粒混入，幫助提高產品合格率
?可根據安裝空間進行設計
