金屬密封熱式流量控制器 半導(dǎo)體流量控制器特點(diǎn)：

●長(zhǎng)明零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的0.2%

●能夠根據(jù)命令變化在 3秒內(nèi)完成設(shè)置并且過(guò)沖/下沖可忽略不計(jì)

●流量范圍究 -3 sccm至高達(dá)30,000 slpm

●高壓額定值-高達(dá)1,500 psi

●可選增強(qiáng)型內(nèi)部后處理工藝-5u 英寸Ra (平均值)

●可拆卸式流量傳感器

●不受安裝角度影響

●其他質(zhì)量流量控制器在機(jī)城和電設(shè)計(jì)方面兼容

●TTL兼容型閥關(guān)團(tuán)和吹掃功能

金屬密封熱式流量控制器 半導(dǎo)體流量控制器優(yōu)勢(shì)：

●全金屬流路可確保件純度并降低范流風(fēng)險(xiǎn)；

●在廣泛的工藝和應(yīng)用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認(rèn)可的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；

●由于性能可靠， 因此投資回報(bào)率出眾；

●采用可拆卸式流量傳感器，因此無(wú)霧對(duì)氣壓進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)和重新調(diào)節(jié)；

●由于慢擬量?jī)H為輸入輸出，因此易于安裝和保養(yǎng)。

產(chǎn)品應(yīng)用：

●光端機(jī)

●LED/MOCVD

●半與體

●太陽(yáng)能