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GVC-2000-磁控離子濺射儀
  • GVC-2000-磁控離子濺射儀
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貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025-06-18 15:46:09

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GVC-2000磁控離子濺射儀基本無溫升、樣品表面無熱損失;顆粒更小,更適宜于高倍圖像觀測,適配場發射/高分辨場發射3.低壓大電流濺射,效率更高。

1.GVC-2000磁控離子濺射儀基本無溫升、樣品表面無熱損失

    GVC200001.png     GVC200002.png

        GVC-2000制樣效果圖                        其他制樣設備效果圖

    上面兩張圖片為濾膜類樣品的電鏡圖片,左側圖片為GVC-2000噴金后的電鏡觀測圖,可以看出,樣品形貌真實完整,右側圖片為其他設備噴金后的電鏡觀測圖片,可以看出,熱損傷嚴重,幾乎無法識別為同種樣品。

    濺射儀顆粒更小,更適宜于高倍圖像觀測,適配場發射/高分辨場發射電鏡。

    GVC200003.png  GVC200004.png

                            金顆粒尺寸:6~10nm

    GVC200005.png   GVC200006.png

    陶瓷膜,鍍層材料Pt,10萬倍圖片,無顆粒感   濾膜材料,鍍層材料Pt,20萬倍圖片,無顆粒感

    技術參數

    靶材尺寸:   57mm

    樣品臺尺寸:  65mm

    樣品倉尺寸:  130×120mm

    GVC-2000磁控離子濺射儀特點:

    1、儀器采用微處理器控制,自動化程度高精確控制、易于操作;

    2、靶材利用率更高,磁控濺射靶材利用率為直流濺射的2倍,為用戶節約靶材費用;

    3、金膜顆粒絕大多數<10nm,顆粒更細,均勻度更好,附著力更強,觀測效果更佳;

    4、低電壓、較好真空度下的實現大電流濺射,可濺射金、銀、銅、鉑等常用金屬靶材;

    5、電子和負離子被磁場束縛在靶材附近,鍍膜過程中基本沒有溫升,適用溫度敏感性樣品;

    6、內置用戶使用向導和說明書,方便用戶 操作;內置膜厚估算公式,便于用戶了 解離子濺射儀工作狀態;

    7、采用微處理器控制,擴展性能好,可實時顯示真空度、濺射電流、濺射時間、設備運行時間、靶材使用時間等,方便了解設備情況,具備過流、真空保護功能,安全可靠。




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