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SiO2/Si基單層二硫化鉬連續薄膜

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更新時間:2024-01-22 17:35:11瀏覽次數:204次

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SiO2/Si基單層二硫化鉬連續薄膜
CVD法制備的單層二硫化鉬連續薄膜,相比較鋰插層制備的單層二硫化鉬,具有缺陷少,層數可控,光學性質,是研究層數和熒光效應和制備器件的優異材料。

SiO2/Si基單層二硫化鉬連續薄膜

中文名稱: CVD氧化硅/硅基底單層二硫化鉬連續薄膜

英文名稱:monolayer continuous film of MoS2 on SiO2/Si  CVD

CAS號:1317-33-5

形態:薄膜

MoS2薄膜尺寸:約8 mm*8 mm

厚度:0.6~0.8nm

基底:SiO2/Si

氧化層:300nm

應用:CVD法制備的單層二硫化鉬連續薄膜,相比較鋰插層制備的單層二硫化鉬,具有缺陷少,層數可控,光學性質,是研究層數和熒光效應和制備器件的優異材料。

保存條件:常溫干燥密封避光。

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SiO2/Si基單層二硫化鉬連續薄膜

制備CVD氧化硅/硅基底上的單層二硫化鉬(MoS2)連續薄膜通常涉及一系列步驟,其中化學氣相沉積(CVD)是主要的制備方法。以下是一般的步驟:

基底準備: 使用硅(Si)基底,并在其表面形成一層氧化硅(SiO2)薄膜。這可以通過熱氧化或物理沉積等方法完成。

CVD沉積: 選擇合適的前體氣體,其中包括硫化物和鉬前體。這些氣體在CVD反應室中引入,并在SiO2/Si基底表面沉積單層二硫化鉬。反應的溫度和氣體流速等參數需要精確控制以確保高質量的MoS2薄膜的形成。

調控層厚: 通過調整CVD參數,如溫度、壓力和反應時間,可以控制MoS2薄膜的厚度。單層MoS2通常是由三層原子組成的二維結構。

后續處理: 可能需要進行后續的退火或其他處理步驟,以優化薄膜的結構和性能。

表征: 對制備的MoS2薄膜進行表征,例如使用掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)和拉曼光譜等技術,以確認其結構和性質。

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以上資料來自西安昊然生物小編JMY 2024.1.22.         

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