優點：
1.多元素與此同時驗出工作能力。
可與此同時檢驗一個試品中的多個元素。一個試品一旦激起，試品中各元素都各自發射出其特點譜線，能夠做好各自檢驗而與此同時測量多個元素。
2.深入分析速度快。
試件大部分不需通過化學加工處理就可深入分析，且氣體、液體試件均可直接深入分析，與此同時還可以多元素與此同時測量，若用等離子光譜儀，則可在幾分鐘內與此同時作很多元素的定量分析測量。
3.可選擇性好。
等離子光譜儀主要是因為光譜的具有特征強，因此相對于某些物理性質極類似的元素的深入分析有著非常主要的實際意義。如鈮和鉭、銑和鉿、幾十種稀有元素的深入分析用別的方式都很艱難，而對AES來講是沒什么艱難之舉。
4.檢測限低。
通常情況下等離子光譜儀可以達到0.1——1ug·g——1，值可以達到10——8——10——9g。用電感器藕合等離子（ICP）新燈源，檢測限可低至量級。
5.用ICP燈源時，精確度高，校準曲線的線形區域寬，可以達到4——6個量級。可與此同時測量高、中、低的含量的差異元素。所以ICP——AES已普遍使用于各行各業當中。
6.試品耗費少，適用于大批量試品的多組分測量，尤其是定性分析更展示出*的優勢。
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