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數字式四探針測試儀

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號 RTS-8
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 北京市
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更新時間:2022-02-14 19:55:31瀏覽次數:390

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產品簡介

產地類別 國產 應用領域 環保,生物產業,農林牧漁,地礦,電子/電池
電阻率: 10-5~105 Ω.cm(可擴展);
RTS-8數字式四探針測試儀

是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。

詳細介紹

 RTS-8數字式四探針測試儀

是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。

    儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數據既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統計分析顯示測試結果。

    儀器采用了最新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

    本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

 

 RTS-8數字式四探針測試儀技 術 指 標

 測量范圍       電阻率:10-5105 Ω.cm(可擴展) 

 方塊電阻:10-4106 Ω/(可擴展)

 電導率:10-5105 s/cm

 電阻:10-5105 Ω;

可測晶片直徑         140mmX150mm(S-2A型測試臺)

 200mmX200mm(S-2B型測試臺)

 400mmX500mm(S-2C型測試臺)

恒流源     電流量程分為1μA10μA100μA1mA10mA100mA六檔,各檔電流連續可調

數字電壓表     量程及表示形式:000.00199.99mV;    

 分辨力:10μV

 輸入阻抗:>1000MΩ;

 精度:±0.1%

 顯示:四位半紅色發光管數字顯示;極性、超量程自動顯示;

四探針探頭基本指標     間距:1±0.01mm

 針間絕緣電阻:≥1000MΩ;

 機械游移率:≤0.3%

 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm

 探針壓力:516 牛頓(總力)

四探針探頭應用參數     (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差

( JJG508-87進行)      0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1

整機測量最大相對誤差         (用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度         5%

測試模式         可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能(選配)         軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據,并統計分析測試數據最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數據生成直方圖,也可把測試數據輸出到Excel中,對數據進行各種數據分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口     并口,高速并行采集數據,連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5  秒(在 0.1mA1mA10mA100mA量程檔時)。

標準使用環境         溫度:23±2℃;

 相對濕度:≤65%

 無高頻干擾;

 無強光直射;

 

 

配置 四探針測試儀主機、探針臺、四探針探頭

 


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