意大利菲戴滅菌柜工作時，在密閉的蒸鍋內，其中的蒸汽不能外溢，壓力不斷上升，使水的沸點不斷提高，從而鍋內溫度也隨之增加。當溫度超過細胞適合生理活動的溫度范圍時，細胞代謝減緩，細胞的蛋白質、酶及核酸會被性破壞，從而導致細胞發生不可逆轉的死亡。
蒸汽滅菌是將產品放置于滅菌柜內，高溫蒸汽迅速釋放的熱量而導致菌體蛋白質凝固變性而達到滅菌的目的。純蒸汽滅菌的特點是穿透性強，蛋白質、原生質膠體在濕熱條件下用以變性凝固，酶系統容易破壞，蒸汽進入細胞內凝結成水，能夠放出潛在熱量提高溫度，更增強了殺菌力。
蒸汽滅菌溫度是意大利菲戴滅菌柜主要控制的蒸汽參數。各種病菌和微生物對熱的耐受力因種類而不同，因此根據滅菌物品污染程度，其所需的滅菌溫度和作用時間也各不相同。產品的滅菌溫度也同時決定于產品本身的耐熱程度和高溫對產品某些特性的損害影響。
蒸汽的溫度和滅菌溫度有時會不同。一方面當蒸汽中含有3%以上的冷凝水（干度為97%）時，雖然蒸汽的溫度達標，但由于分布在產品表面的冷凝水對熱量傳遞的阻礙，蒸汽溫度經過冷凝水膜時會逐步遞減，使得到達產品的實際滅菌溫度會低于滅菌溫度要求。特別是鍋爐攜帶的爐水，其水質可能會污染滅菌產品。
過熱蒸汽，其性質相當于干燥的空氣，其本身的傳熱效率低下；另外一方面，過熱蒸汽釋放顯熱而溫度下降沒有達到飽和點時，不會發生冷凝，此時放出的熱量非常小，使得熱量傳輸達不到滅菌要求。此現象在過熱5℃以上時即表現明顯。蒸汽過熱還可導致物品快速老化。
