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產品簡介
薄膜測厚儀，采用光譜干涉原理進行測量，具有非接觸、無破壞、快速等特點，可在真空環境使用；可與大行程工件臺配合，實現大面積膜厚自動測量。
詳細介紹
產品名稱：膜厚儀
主要技術指標：
測量范圍（VIS）：15nm—100μm
測量重復性（RMS）：0.086nm
測量精度（與橢偏儀對比）：0.25nm
測量層數：大于3層
使用光源：鹵素燈；
入射角度：90°
測試材料：透明或半透明薄膜材料；
光斑尺寸：20μm—3mm（可選）
測量時間：100ms—4ms；
通信接口：USB2.0
產品特點：
采用光譜干涉原理進行測量，具有非接觸、無破壞、快速等特點；
可在真空環境使用；可與大行程工件臺配合，實現大面積膜厚自動測量。
薄膜測厚儀測試數據：
薄膜測厚儀設備組成：
測試主機、光纖、校正件、測量頭、夾持裝置、設備箱、手提電腦。