Sensofar 白光干涉儀從納米尺度到工業尺度
精密制造時代的測量范式革命：Sensofar 共聚焦白光干涉儀的技術突破與產業價值
當一塊半導體晶圓上的納米級缺陷可能導致整個芯片失效，當 PCB 板上 0.1 微米的通孔誤差會影響航天器通信系統，當心臟支架表面的粗糙度直接關系到患者生命安全 —— 精密制造領域的每一個維度都在呼喚更精準、更高效的測量技術。來自西班牙的 Sensofar 集團，以其革命性的共聚焦白光干涉測量技術，正在重新定義全球計量工具的標準。作為總部位于巴塞羅那科技核心區的跨國企業，Sensofar 憑借覆蓋 30 多個國家的服務網絡和亞洲、美洲、歐洲的本地化團隊，將光學計量的前沿成果轉化為半導體、醫療、電子等產業的生產力躍升引擎。
三元技術融合：重新定義精密測量的可能
Sensofar 的突破性創新在于將共聚焦、白光干涉與 Ai 多焦面疊加三項技術無縫集成于單一測量頭，創造出傳統設備的適應性。這種 "三位一體" 的技術架構，源于公司對不同材料表面特性的深刻理解 —— 從拋光晶圓的納米級平整度到航空發動機葉片的復雜曲面，從透明薄膜的層間結構到生物材料的柔彈性表面，單一設備即可完成從前需要多臺儀器的測量任務。
以旗艦產品 S neox 為例，其橫向分辨率可達 0.14μm，縱向精度更是突破 0.1nm 極限，相當于能識別一根頭發絲直徑的百萬分之一。這種精度并非實驗室里的理論值：河北工業大學*材料測試中心使用 S neox 對金屬、復合材料及半導體器件進行表征，其亞納米級粗糙度分析能力為材料研發提供了關鍵數據支撐。而針對工業在線檢測場景設計的 Sonix 系統，通過高速攝像頭與優化光學設計，將測量速度提升至傳統干涉系統的 7 倍，在保持 0.1nm 垂直分辨率的同時，實現大批量生產的實時質量監控。
Smart 2 則展現了緊湊設計與強大功能的平衡。這款僅 5.3kg 的測量頭內置計算核心，支持 14 米遠距離布線，可直接集成于自動化生產線。其的自動對焦與參數優化功能，讓操作員無需專業培訓即可完成高精度測量 —— 從汽車零部件的粗糙度檢測到消費電子玻璃蓋板的劃痕分析，只需一鍵操作便能生成符合 ISO 25178 標準的定制化報告。
跨行業的測量解決方案：從納米尺度到工業尺度
在半導體制造領域，Sensofar 的技術正解決著最棘手的質量控制難題。當晶圓切割進入微米級精度要求時，S neox 的 EPSI 技術結合 Cross Kerf 插件，能自動分析切割深度、槽寬均勻性等關鍵參數，確保每一片芯片的切割質量達標。其 50X 物鏡下 0.21μm 的光學分辨率，足以識別 7nm 工藝節點下的電路缺陷，而 34mm 的 Z 軸測量范圍又能滿足從晶圓到封裝的全流程檢測需求。
印刷電路板 (PCB) 行業則受益于 Sensofar 對復雜結構的測量能力。針對高縱橫比通孔（1:20）的檢測挑戰，SensoPRO 孔插件可自動生成 19 項表征參數，通過容差設置實現合格 / 不合格的快速判斷。對于填充孔凹陷這一行業痛點，專用 Dimple 插件能精準識別連接點區域的高度變化，為高密度電路板的可靠性提供數據保障。這種從測量到分析的閉環能力，將傳統需要數小時的檢測流程縮短至分鐘級。
醫療器件制造更能體現 Sensofar 技術的人文價值。其 Q vix pivot 系統專為心臟支架和瓣膜框架設計，非接觸式測量避免了對精密醫療器械的潛在損傷，而 0.1nm 的精度確保了支架表面紋理符合人體植入標準。在人工關節表面粗糙度檢測中，多焦面疊加技術能捕捉 86° 的陡峭斜率，完整還原復雜曲面的形貌特征，為患者舒適度提供科學依據。
效率與生態：超越測量的價值創造
Sensofar 的創新不止于硬件性能，更在于構建了從測量到決策的完整生態系統。Sonix 系統搭載的 5 倍速掃描技術，將傳統干涉儀需要 30 分鐘的測量縮短至 6 分鐘，配合 180fps 的高速相機，使生產線的 100% 全檢成為可能。這種效率提升在消費電子行業尤為關鍵 —— 當每秒鐘都有上百部智能手機下線時，Sensofar 的在線檢測方案能實時攔截缺陷產品，將不良率降低至 ppm 級別。
軟件平臺是 Sensofar 生態的核心競爭力。SensoVIEW 提供直觀的 3D 可視化界面，即使是非專業人員也能快速掌握表面形貌特征；SensoPRO 則針對不同行業開發專用插件，從 PCB 的凹陷分析到半導體的鍵合線檢測，從薄膜厚度測量到劃痕識別，實現 "測量即分析" 的自動化流程。河北工業大學的用戶反饋顯示，這種模塊化軟件架構使研究人員能將更多精力投入材料創新，而非數據處理。
作為精密制造的 "標尺"，Sensofar 的技術正在推動整個產業鏈的精度升級。在半導體領域，其納米級測量能力支持 7nm 以下制程的研發；在新能源行業，電池極片的粗糙度分析幫助提升能量密度；在航空航天領域，發動機葉片的輪廓檢測直接關系到飛行安全。正如 Sensofar 集團的使命所強調的，通過*計量技術的普及，讓每一個制造環節都能實現可量化、可追溯的質量控制。
從巴塞羅那的研發中心到亞洲的生產基地，從大學實驗室的基礎研究到工廠車間的在線檢測，Sensofar 共聚焦白光干涉儀正以 "微米級視野，納米級精度" 重塑制造業的質量標準。當精密成為競爭的核心要素，選擇 Sensofar 不僅是添置一臺測量設備，更是擁抱一種的制造精度哲學 —— 在這里，每一個納米的差異都能被感知，每一次微小的改進都能被量化，最終推動人類制造能力向更微觀、更的領域不斷探索。
結語：干涉測量的技術代際跨越
S neox的干涉體系以光波為尺、算法為眼，在PSI的亞埃級精度與CSI的工業魯棒性間取得平衡。其八部位移法的相位解析精度、EPSI的跨尺度能力，以及REC環境補償，共同構成納米計量界的“干涉三角定律"。未來隨著計算光學迭代，干涉技術將從“形貌復現"邁向“工藝預測"，成為智能制造的微觀決策中樞
Sensofar白光干涉：不受反光材料的影響
Sensofar 白光干涉儀從納米尺度到工業尺度
3
化工儀器網