二、儀器主要技術參數

1. 工作壓力：常壓～50MPa，計量精度：±0.1 MPa；

2. 工作溫度：室溫～100℃，計量精度：±0.1℃；

3. 流量范圍：0.005～80ml/h，計量精度：0.1% F.S；

4. 系統耐壓：70 MPa；

5. 模型規格：光刻模型：45×45mm。

三、系統組成

微觀驅替物模系統主要由注入系統、模型系統、計量系統、數據及圖像采集處理系統四個部分組成。詳見系統流程圖

（1）注入系統由注入泵、中間容器、真空泵、環壓泵等組成?？商峁┳⑷胨?氣體/化學劑等多重介質，用于注入模型本體。在設計流程時，要求整個流程，包括使用的管閥件死體積盡可能小。

（2）模型系統由高溫高壓可視模型、平射光源、恒溫箱等組成。

（3）計量系統由測壓傳感器、溫控儀、計量管和回壓系統等組成。

（4）數據及圖像采集處理系統包括高倍顯微鏡、彩色攝像頭、圖像采集卡、數碼照相機、臺式電腦、微觀驅替數據及圖像分析軟件等。