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小型1000℃RTP管式爐是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4“石英管和真空法蘭，是專為半導體或太陽能電池基片（大3“）的退火而設計。本機采用10KW紅外燈管加熱，升溫速度為 50℃/s，設有30段溫度控制，精度為±1℃。此外，通過RS485口和控制軟件可在計算機上實現實時控制和溫度曲線顯示。

小型1000℃RTP管式爐 是一款精巧型快速熱處理管式爐。本機采用紅外燈管加熱，升溫速度為 50℃/s，設有30段溫度控制，精度為±1℃。

小型1000℃RTP管式爐技術參數

技術參數

1、電源：220AC，50Hz/60Hz

2、爐體結構：雙層結構構

3、石英管：外徑?110mm，內徑?103mm，長380mm

4、樣品架：76mm

5、加熱元件：紅外燈管，、
6、恒溫區：200mm 均勻性±5℃

7、熱偶：K型熱偶

8、設計溫度：1100℃，

9、控溫精度：±1℃

10、升溫速度：RT-800℃內50℃/s，800℃-1000℃內10℃/s

12、真空度：（機械泵），（分子泵）

13、真空法蘭：帶有KF-D25高真空不銹鋼法蘭，配有兩個高溫O型圈密封

14、流量計：16ml/min-160ml/min