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硅鉬棒真空管式爐是一種采用高純度硅鉬合金作為發熱元件的特種高溫設備，其核心部件由多組U型硅鉬棒呈對稱式排布構成加熱區，在真空或保護性氣氛環境下可實現1800℃的極限工作溫度。該設備采用雙層水冷不銹鋼爐殼設計，配合高精度PID智能控溫系統，能夠實現±1℃的溫控精度，并配備多重安全聯鎖保護裝置。爐管通常選用高純度氧化鋁或石英材質，通過特殊法蘭結構實現快速密封，真空度可達10-3Pa量級。設備集成有氣體凈化系統、壓力傳感器和數字式流量控制器，支持動態氣氛調節功能，滿足材料燒結、晶體生長等精密熱處理工藝需求。
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