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6NANYTE BEAM臺式無掩模光刻機/
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李嚴波教授團隊Nature Communications最新研究成果
電子科技大學李嚴波教授團隊在Nature Communications（自然-通訊）期刊上發表了最新研究成果“Interface engineering of Ta3N5 thin film photoanode for highly efficient photoelectrochemical water splitting"。
團隊通過對氮化鉭(Ta3N5)薄膜進行界面修飾，并將這種高效的界面修飾方法與NiCoFe-Bi產氧助催化劑相結合，In：GaN/Ta3N5/Mg：GaN薄膜光陽極光電轉換效率達到了3.46%，最高光電轉化效率。其中我公司代理的XES-40S3-TT光催化專用AA*太陽光模擬器在研究過程中提供了有效的幫助。
主要內容
先進的界面修飾工程不僅可以提高器件的光電轉換效率，還可以提高器件的穩定性。文中對Ta3N5薄膜光陽極的Ta3N5/電解液界面和Ta3N5/背電極界面同時進行界面修飾，大幅提高光電轉換效率，同時實現了較長時間的穩定光電催化。本文使用“一步高溫氮化法"，將電子束蒸發和原子層沉積兩種方法相結合，制備了“三明治結構"的薄膜光陽極In：GaN/Ta3N5/Mg：GaN。
In:GaN/TTa3N5/Mg:GaN薄膜光陽極的制備流程示意圖
本文通過PL測試表明，Mg：GaN和In：GaN層可以起到表面鈍化作用，降低Ta3N5薄膜中的缺陷濃度。本文通過電化學測試表明，這種界面修飾方法減少了由于表面態缺陷引起的費米能級釘扎作用，降低了光陽極器件的起始電位。最后將這種高效的界面修飾方法與NiCoFe-Bi產氧助催化劑相結合，In：GaN/Ta3N5/Mg：GaN薄膜光陽極光電轉換效率達到了3.46%，最高光電轉化效率！
In:GaN和Mg:GaN層在In:GaN/Ta3N5/Mg:GaN薄膜中的作用
文中提到使用太陽光模擬器（SAN-EI ELECTRIC，XES-40S3-TT）模擬陽光，強度校準為 100 mW cm-2 (AM1.5 G) ，既用于樣品長時間沉積，又用于PEC測試。
XES-40S3-TT光催化專用AA*太陽光模擬器
技術參數：
氙燈功率：150W
有效照射面積：40mm*40mm
光譜不匹配性：＜±25% AM1.5G *
光強不穩定性：＜1% *
光強不均勻性：＜2% *
氙燈壽命：2000小時
快門控制器：Twin time全自動控制