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Q-521.340-德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 光學(xué)實驗位移臺
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貨物所在地:天津天津市

更新時間:2025-06-25 16:19:50

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德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 光學(xué)實驗位移臺,21毫米寬度,10毫米高度,1納米編碼器分辨率,2納米線性平臺位移

德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 光學(xué)實驗位移臺 線性平臺 Q-521.340


一、Q-521.340線性平臺產(chǎn)品特點:

21毫米寬度,10毫米高度,1納米編碼器分辨率,2納米線性平臺位移

二、Q-521.340線性平臺產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域:

Q-521.340線性平臺主要應(yīng)用領(lǐng)域為光學(xué)對準,顯微鏡,半導(dǎo)體技術(shù)


三、Q-521.340線性平臺產(chǎn)品參數(shù):

行程參數(shù):

主動軸:X

行程:32毫米

精度參數(shù):

速度,閉環(huán):6毫米/

位移:2納米

俯仰角:300微弧度

偏轉(zhuǎn)角:400微弧度

線性度:3.5微米

集成傳感器:線性編碼器

傳感器分辨率:1納米

參考點開關(guān):光學(xué)

雙向重復(fù)精度:80納米

負載參數(shù):

負載能力,水平方向:0.3千克

負載能力,任意方向:0.06千克

導(dǎo)向類型:交叉滾柱軸承

驅(qū)動力:0.6

保持力:1.3

其他參數(shù):

電機類型:壓電慣性驅(qū)動器

工作溫度:040攝氏度

電纜長度:1

電機/傳感器連接器:D-sub15針(公頭)

不含電纜和連接器的質(zhì)量:48

質(zhì)量(包含電纜和連接器):135

材料:不銹鋼

尺寸:42.2 毫米×21 毫米×10毫米


德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 光學(xué)實驗位移臺 線性平臺 Q-521.340


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