德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái)，0.02%線(xiàn)性誤差，應(yīng)變片式傳感器（可選壓阻式傳感器，電容式傳感器）
德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 控制器 壓電控制器 E-709.SR
一、E-709.SR控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：
0.02%線(xiàn)性誤差，應(yīng)變片式傳感器（可選壓阻式傳感器，電容式傳感器）
二、E-709.SR控制器產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
E-709.SR控制器主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)?/span>共聚焦顯微鏡，3D成像，表面分析，晶圓檢驗(yàn)。
三、E-709.SR控制器產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品參數(shù)：
傳感器類(lèi)型：應(yīng)變片傳感器
功能：用于單軸壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)的數(shù)字式控制器（.SR：OEM板）
軸：1
處理器：DSP32位浮點(diǎn)，150兆赫茲
控制器類(lèi)型：PID，兩個(gè)陷波濾波器，傳感器線(xiàn)性化
采樣率，伺服控制：10千赫茲
采樣率，傳感器：10千赫茲
傳感器參數(shù)：
線(xiàn)性化：5階多項(xiàng)式
傳感器帶寬：5千赫茲
傳感器分辨率：16位
外同步：否
放大器參數(shù)：
輸出電壓：-30伏至130伏
峰值功率（<5毫秒）：10瓦
平均輸出功率（>5毫秒）：5瓦
峰值電流（<5毫秒）：100毫安
平均輸出電流（>5毫秒）：50毫安
電流限制：防短路
分辨率DAC：17位
接口參數(shù)：
通信：USB、RS-232、SPI
壓電陶瓷/傳感器連接器：D-sub9（母頭）
輸入/輸出：HDD-sub26針（母頭），1路模擬量輸入為0至10伏（可配置），1路模擬量輸出為0至10伏（可配置），1路監(jiān)控器壓電電壓為-0.3至1.3伏，1個(gè)數(shù)字輸入（LVTTL、可編程），5個(gè)數(shù)字輸出（LVTTL、3個(gè)為預(yù)定義、2個(gè)為可編程）
指令集：PIGeneralCommandSet(GCS)
用戶(hù)軟件：PIMikroMove
支持功能：波形發(fā)生器、數(shù)據(jù)記錄器、自動(dòng)調(diào)零、觸發(fā)I/O
顯示器和指示燈：狀態(tài)指示燈，溢流指示燈
其他參數(shù)：
工作溫度范圍：5至50攝氏度（40攝氏度以上，功率下降）
尺寸：160毫米×96毫米×33毫米
質(zhì)量：260克/470克
工作電壓：24伏直流（適用于.SRG含在發(fā)貨范圍內(nèi)：外部電源）
功耗：24瓦
德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 控制器 壓電控制器 E-709.SR
