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P-616.3C-德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
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更新時間:2025-06-25 16:19:54

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德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺,用于納米級定位和光纖校準的緊湊型并聯運動壓電系統

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 納米定位器 壓電納米定位系統 P-616.3C


德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 納米定位器 壓電納米定位系統 P-616.3C


主動軸:XYZ

-20120伏時的開環行程:110/軸微米

行程,閉環:100/軸微米

分辨率,1s,開環:0.3納米

分辨率,1s,閉環:0.4納米

線性誤差:0.03%

雙向重復精度,1s10%行程范圍內:<10納米

雙向重復精度,1s行程范圍內:<15納米


應用領域:

光纖定位和對準

掃描顯微鏡

雙光子聚合

納米技術和納米制造

光子學/集成光學

顯微操縱

樣本定位

產品參數:

型號:P-616.3C

主動軸:XYZ

-20120伏時的開環行程:110/軸微米

行程,閉環:100/軸微米

分辨率,1s,開環:0.3納米

分辨率,1s,閉環:0.4納米

線性誤差:0.03%

雙向重復精度,1s10%行程范圍內:<10納米

雙向重復精度,1s行程范圍內:<15納米

傳感器類型:電容式傳感器

剛度:0.5/微米

X/Y/Z向上的空載諧振頻率:700赫茲

38克負載的諧振頻率X/Y/Z380赫茲

100克負載的諧振頻率X/Y/Z250赫茲

/拉力大小:15

允許轉矩:0.4牛米


德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 納米定位器 壓電納米定位系統 P-616.3C


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