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透射電子顯微鏡解決方案

閱讀:1700        發(fā)布時間:2022/4/24
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  透射電子顯微鏡(簡稱TEM),可以看到在光學(xué)下無法看清的小于0.2um的細(xì)微結(jié)構(gòu),這些結(jié)構(gòu)稱為亞顯微結(jié)構(gòu)或超微結(jié)構(gòu)。要想看清這些結(jié)構(gòu),就必須選擇更短的光源,以提高顯微鏡的分辨率。
 
  1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡,電子束的波長要比可見光和紫外光短得多,并且電子束的波長與發(fā)射電子束的平方根成反比,也就是說電壓越高波長越短。目前TEM的分辨力可達(dá)0.2nm。
 
  透射電子顯微鏡解決方案在電子槍和聚光透鏡之間引入脈沖發(fā)生器,該脈沖發(fā)生器可通過皮秒級射頻電激發(fā)電子束并可保持原始掃描電鏡的光束質(zhì)量,并在脈沖發(fā)生器關(guān)閉時對正常操作的影響最小(理想情況下沒有)。
 
  同時采用飛秒激光泵浦樣品聯(lián)動,該解決方案結(jié)合了脈沖發(fā)生器的百皮秒時間分辨率和透射電子顯微鏡的固有空間分辨率,可進(jìn)行超高時間和空間分辨的成像、微區(qū)衍射以及能譜分析,實現(xiàn)對樣品的超快表征。

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