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利用高能紫外線光束，使空氣中產生大量的自由電子，這些電子大部分能被氧氣所獲得，形成負氧離子（O3－），負氧離子不穩定，很容易失去一個電子而變成活性氧（臭氧）。臭氧是高級氧化劑，既可以氧化分解有機物和無機物，對主要臭氣氨、硫化氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳、苯乙烯等，都可以與臭氧發生反應，在臭氧的作用下，這些惡臭氣體由大分子物質被分解為小分子物質，直至礦化。

等離子空氣凈化器去除污染物的原理：

在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使有毒有害物質轉變成無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。等離子廢氣凈化器，采用介質阻擋花冠放電技術，在空氣溫度小于40%時，1米范圍離子濃度大于160萬，運用大流量變頻高壓放電技術，改變傳統模塊結構，大大降低設備成本，采用雙介質放電，尤其是正離子數量大大提高，氧化*增強。在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，從而使污染物得以降解去除。

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