G100C質量流量控制器特點

l 高精度、高分辨率控制

l DC 9-36V寬電壓供電

l 低功率，功率＜2W

l 集成40種基礎氣體種類

l 可自定義10種混合氣體

l 控制參數自整定功能

l 數字化控制，RS-485 Modbus RTU通信模式

l 寬流量量程范圍

l 無需預熱

l 無安裝方向限制

l 具有高重復性和高可靠性

l 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快

l 自帶溫度補償，補償范圍0-50℃

l 內部閉環控制，具有高穩定性

l 小封裝尺寸

量程及精度簡介

l 可用量程：

n 最大0-20slpm

n 最小0-10sccm

n 常備量程請參考選型表

l 量程比：100:1

l 滿量程精度：±0.5%

l 讀取精度：±1%

l 可重復性：±0.5%FS

l 響應時間：＜100ms（調節PID控制參數可縮短響應時間）

數字式設計簡介

G100C系列質量流量控制器標配高精度傳感器和數字電路，數字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用標準的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485總線最高可擴展至255臺設備同時使用。

應用領域

l 氣相和液相色譜儀

l 半導體工藝

l 環境監測設備

l 微反應裝置及材料制備實驗裝置（CVD）

l 氣體發生器

l 配氣混氣系統