日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計FUD-1 Model-13

產(chǎn)品總覽
該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢(如可維護性和高精度在線測量)的同時,還具有用于半導(dǎo)體制造過程的小型單元型振蕩器。
單組分密度計的特點 可以進行實時濃度測量,并且可以輕松構(gòu)建濃度管理系統(tǒng)。 - 配備模擬DC 4-20mA和數(shù)字RS232C作為標準配置
- 標配測量誤差輸出和報警輸出
- 配備自診斷功能和錯誤信息顯示為標準配置
- 緊湊輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線上
- 由于潤濕材料的質(zhì)量以及采用PFA的小產(chǎn)量設(shè)計,因此對化學(xué)藥品沒有影響。?
| | 值得 - 可以高精度連續(xù)測量
- 免維護,無需定期調(diào)整/校準
- 易于安裝,因為在安裝過程中無需進行任何調(diào)整
- 通過實時輸出輕松反饋到過程
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用途 - CMP過程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制
- 稀釋過程中各種化學(xué)濃度的管理(H2O2,TMAH,HNO3,H2SO4,HCl等)
- 清潔過程中的清潔液濃度控制(HF,NH4OH,KOH,IPA等)
- 控制蝕刻過程中的蝕刻液濃度(HF,H2SO4等)
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日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計FUD-1 Model-13
規(guī)范
| 格式 | FUD-1模型13 |
| 測量參數(shù) | 超聲波傳播速度/溫度 |
| 顯示 | LCD(密度,溫度,聲速/各種參數(shù)) |
| 輸出信號 | 模擬DC 4-20mA(可自由設(shè)定濃度值) 數(shù)字RS232C(濃度,溫度,聲速,錯誤代碼) 警報上下限測量錯誤 |
| 電源供應(yīng) | AC100V-240V 50 / 60Hz(也可以使用DC24V) |
| 施工 | 面板安裝類型(符合DIN標準)/板載安裝類型(可以選擇安裝在防雨箱中) |
| 環(huán)境溫度 | 0至50℃RH85%以下(無冷凝) 0至100℃特殊規(guī)格-10至160℃(100℃寬度) |
| 功能 | 輸出范圍設(shè)置,警報輸出設(shè)置,濃度顯示移動平均值,濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能,自診斷功能,故障保護功能,異常值消除 RS485輸出(不能與RS232C同時輸出) |
| 選項 | 溫度輸出(4-20mA DC) |
| 渠道 | 高達10ch |
| 兼容發(fā)射器 | 型號13 : SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5 |