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技術文章

高壓過程監測氣體分析儀 XPR3的特點

閱讀:1086          發布時間:2023-5-22

高壓過程監測氣體分析儀 XPR3的特點

Transpector XPR3 是基于四極桿的下一代高壓過程監測器。 盡管外觀緊湊(總長度 237 mm),但它可以在從 2.6 Pa 到高真空的寬范圍內使用。 不需要大型復雜的差速排氣裝置。

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特點
●重新設計的離子源減少了污染物的影響,延長了使用壽命,并提供清晰的信號
來自雙離子源的一個離子流被送入四極桿過濾器進行分壓測量,另一個離子流被發送到全壓收集器。 這使得連續的總壓力測量具有比離子堿更高的精度。 這改善了高壓范圍內的靈敏度損失,并以1.1 Pa為單位實現了測量度。

●在PVD工藝壓力下運行的新型EM(二次電子倍增管)可實現快速干凈的數據收集,并且無需從FC更改為EM而便于數據轉換。
●新型擴展四極桿提高了低質量范圍內的過濾性能和豐度靈敏度,以及氫氣檢測靈敏度。

應用實例 

?PVD工藝模塊 

?預清洗模塊 

?脫氣模塊

雙離子源經過改進,可最大限度地減少污染物的影響,從而延長離子源的使用壽命。

來自該雙離子源的離子流之一被送入四極桿過濾器進行分壓測量,另一個離子流被發送到全壓收集器。 這允許以比離子計更高的精度連續測量總壓力。


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