化工儀器網(wǎng)
技術(shù)文章
200℃兼容半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17的特點
閱讀：1037 發(fā)布時間：2022-11-18200℃兼容半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17的特點
兼容ZT17_200℃半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器
支持高達(dá) 200°C 的測量！
用于半導(dǎo)體制造過程中高溫應(yīng)用的壓力傳感器
用于半導(dǎo)體制造過程中高溫應(yīng)用的壓力傳感器
特征
●高達(dá)200°C的高溫測量
●在高溫測量中實現(xiàn)高精度
●不使用密封液體的安全可靠結(jié)構(gòu)
●與專用放大器 組合使用
●搭載200℃高溫測量新開發(fā)的壓力傳感器元件，對應(yīng)200℃測量
●實現(xiàn)高精度的高溫測量溫度特性ZERO：±1.0%F.S.SPAN：±3.0%F.S.（溫度補償范圍15～200℃）
●將測量氣體的滯留抑制到最小限度，適用于氣體供給系統(tǒng)的焊接結(jié)構(gòu)特殊表面處理技術(shù)
使用溫度范圍
運用程序
支持超臨界清洗、氣化裝置等半導(dǎo)體制造工藝的高溫用途
通過適用于半導(dǎo)體氣體供給系統(tǒng)焊接結(jié)構(gòu)和特殊表面處理技術(shù)
將測定氣體的滯留控制在最小限度。
日本naganokeiki長野計器半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17