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技術(shù)文章

日本ballwave超微量水分儀介紹

閱讀:1237          發(fā)布時間:2022-3-21

日本ballwave超微量水分儀介紹

 

超微量水分計“Falcon Trace”是使用球型SAW傳感器定量測量工業(yè)氣體和天然氣中極微量水分子的設(shè)備。

響應(yīng)速度極快,可實時監(jiān)測含水量變化,可測量含水量和背景氣體成分分析兩項。氣體中的水濃度可以精確測量到 1ppb(十億分之一)的水平。

 

球型SAW傳感器的測量原理

① 表面聲波(IDT;Inter Digital Transducer)產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道上循環(huán),對所施加的敏感膜的微小變化作出
反應(yīng) ③ 反應(yīng)后表面聲波的信號變化 異形電極檢測
④通過多輪積分微小變化實現(xiàn)高靈敏度傳感。

 

響應(yīng)速度極快,可在數(shù)秒內(nèi)監(jiān)測含水量變化,有助于穩(wěn)定半導(dǎo)體和二次電池制造過程中的產(chǎn)品良率和質(zhì)量。
無需對每種背景氣體進行重構(gòu),當(dāng)天然氣等成分有波動時,可以同時檢測。另外,由于傳感器材料是水晶球,耐腐蝕,而且重量輕,攜帶方便,這也是一大優(yōu)勢。

FT-700WT

實現(xiàn)“超”微量水分測量的系列機型

  • 測量范圍從露點 -110°C 到 -20°C

  • 除露點測量外,背景氣體*成分(相當(dāng)于平均分子量)也以 % 水平檢測
    * 背景氣體:測量水含量的氣體

  • 從天然氣到高純度氣體,這一單元涵蓋

應(yīng)用示例

工業(yè)氣體制造過程/出貨時的質(zhì)量控制,半導(dǎo)體制造材料氣體純度控制

FT-400WT

可在中等范圍內(nèi)進行實時測量的中等型號

  • 在 1 秒內(nèi)測量從 -90°C 的露點開始的變化,非常適合實時控制系統(tǒng)測量

  • 也可以更改為設(shè)備內(nèi)置類型*
    * 請聯(lián)系我們

應(yīng)用示例

一般生產(chǎn)線的質(zhì)量控制,電池制造過程的水分含量監(jiān)測

FT-300WT

在保持高速響應(yīng)性的同時強調(diào)便攜性的小型通用型號

  • 1秒內(nèi)測量-70°C露點的變化,支持實時測量系統(tǒng)

  • 輕巧緊湊,重量僅為 2 公斤,便于攜帶到目標(biāo)區(qū)域

  • 即使在因電池驅(qū)動而沒有商用電源的地方也可以使用

應(yīng)用示例

干燥箱、空間含水量分布、一般氣體



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