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Park NX10原子力顯微鏡
準確成像, 無交叉耦合現象
XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨立的柔性制導掃描器控制移動
Z低的平面偏移度，全程水平掃描時平面偏移量不超過1納米
產品簡介
詳細介紹
Park NX10原子力顯微鏡產品特點：
準確成像, 無交叉耦合現象
XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨立的柔性制導掃描器控制移動
Z低的平面偏移度，全程水平掃描時平面偏移量不超過1納米
垂直掃描器全程伸縮時，線性度優于0.015%
優化的水平掃描器ringing現象, 科學的正向sine-scan算法
Park NX10原子力顯微鏡配置：
XY掃描器：
- 閉環控制式單模塊柔性XY掃描器。
- 掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選 100 μm × 100 μm)
- 分辨率: 0.05 nm
- 定位檢測噪音: < 0.3 nm (帶寬: 1 kHz)
- 水平線性: < ２nm (over 40 μm scan)
Z掃描器：
- 柔性引導高力度掃描器
- 掃描范圍: 15 μm (可選 30 μm)
- 分辨率: 0.015 nm
- 定位檢測噪音: 0.03 nm (帶寬: 1 kHz)
- 共振頻率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)
- 表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)
光學系統：
- 可觀察樣品和探針的直視同軸光學系統
- 視場: 480 × 360 μm (10× objective lens)
- CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）
物鏡：
- 10x (0.21 NA) 超長工作范圍的鏡頭(1 μm分辨率)
- 20x (0.42 NA) 高分辨率長工作范圍的鏡頭(0.6 μm 分辨率)
信號處理：
- ADC: 18個通道
- 4 個高速 ADC 通道 (50 MSPS)
- X,Y和Z掃描器定位傳感器的24-bit ADCs
- DAC: 12 信道
- 2個高速 DAC 通道 (50 MSPS)
- X,Y和Z掃描器定位的20-bit DACs
- 大數據大小: 4096 x 4096 像素
集成功能：
- 3個通道數字鎖相放大器
- 熱噪聲法標定彈性系數
- 數碼Q控制
外部信號介入：
- 20個嵌入式信號輸入/輸出端口
- 5個TTL輸出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias