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產(chǎn)品簡介
雅馬拓等離子清洗機V1000：13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗儀器，搭載RIE·DP 雙模式。
詳細介紹
雅馬拓等離子清洗機V1000產(chǎn)品特點：
■操作性·功能
●射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機型，DP和RIE標配的雙模等離子清洗儀器，可對應更多復雜工藝.
●標準配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
●液晶觸摸屏控制，操作使用簡單，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單。
■安全性·保護
●標準配備真空泄漏檢測功能，可以根據(jù)需要檢查設備的真空以及泄漏情況。
●裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。
●發(fā)生器保護回路：超負荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時，可自動調(diào)低頻率來保護發(fā)生器。
●門鎖開關：門在未*關閉時無法啟動電源。
●側板鎖：本體側板突然打開或者未關好時，會停止電源。
●緊急停止按鍵（EMO）標準配備。
●當裝置發(fā)生異常時，裝置本體發(fā)出警告信號的同時，進行以下動作1）關閉主閥。（2）關閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間。（5）聲光報警
■產(chǎn)品優(yōu)勢
●清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●DP&RIE雙模處理，可對應更復雜的工藝。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可變電極構造提高等離子處理效果。
●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。
●可根據(jù)需求的具體情況提供產(chǎn)品定制服務。
●硅晶圓的灰化及蝕刻。
●基板表面污垢處理。
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
●半導體相關部品的電子材料的干式清洗。
●自然氧化膜·有機物去除。
●界面活性處理。
●表面污染物去除
雅馬拓等離子清洗機V1000產(chǎn)品參數(shù)：
型號 | V1000 | |
方式 | DP&RIE雙模標準裝備 | |
性能 | 發(fā)生器功率： | 0-1000W |
發(fā)生器頻率： | 射頻RF13.56Mhz | |
發(fā)生器匹配方式： | 自動匹配（Auto matching) | |
構成 | 腔體材質(zhì)： | 鋁制腔體 |
腔體內(nèi)尺寸： | 400×400×384mm 約61.4L | |
電極尺寸： | 300mm×300mm | |
反應氣體： | 雙路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體 | |
填充氣體： | 一路氮氣 | |
控制方式： | 全自動控制，5.7寸液晶觸摸屏 | |
真空度顯示： | 測量高真空的電離式真空計標準配備，實時顯示腔體內(nèi)真空度 | |
配管材質(zhì)： | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
門： | 鉸鏈門 | |
涂裝顏色： | 標準色，白系 | |
外形尺寸： | W700×D800×H1600mm （高度含警報燈） | |
真空泵： | 無油干式真空泵 抽速100m3/hour，吸氣口NW40,排氣口NW25 | |
電源規(guī)格： | 3phase AC200V 50/60Hz 8A | |
重量： | 約215kg | |
附屬品 | 真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套 | |