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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 50萬-100萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷,汽車及零部件,電氣 |
產品簡介
詳細介紹
OPTM series薄膜測厚儀
大塚電子薄膜測厚儀使用顯微光譜法在微小區域內通過反射率進行測量，可進行高精度膜厚度/光學常數分析。
可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上，能達到1秒/點的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學常數的軟件
特點
- 頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
- 通過顯微光譜法測量高精度反射率（多層膜厚度，光學常數）
- 1點1秒高速測量
- 顯微分光下廣范圍的光學系統（紫外至近紅外）
- 區域傳感器的安全機制
- 易于分析向導，初學者也能夠進行光學常數分析
- 獨立測量頭對應各種inline客制化需求
- 支持各種自定義
OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
波長范圍 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范圍 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
測定時間 | 1秒 / 1點 | ||
光斑大小 | 10μm (小約5μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源規格 | 氘燈+鹵素燈 | 鹵素燈 | |
電源規格 | AC100V±10V 750VA（自動樣品臺規格） | ||
尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規格之主體部分) | ||
重量 | 約 55kg（自動樣品臺規格之主體部分） | ||
測量項目：
- 反射率測量
- 多層膜解析
- 光學常數分析（n：折射率，k：消光系數）
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