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薄膜厚度測試的方法有哪些？
閱讀：8592 發(fā)布時間：2020-7-7
薄膜厚度測試的方法有哪些？
薄膜厚度測試可以分為在線測厚設備和非在線測厚設備兩大類。這兩類測厚設備如果能夠配合使用是較理想的，這一方面是由于在線測厚設備往往采用的非接觸式測量方式，用于軟包材的厚度檢測時無法避免由于材料具有壓縮性或是表面平整性不好而引起的數據波動較大的情況。
而非在線測厚設備可以提供接觸式測量方法，有效彌補了在線測厚的這一不足。另一方面在線測厚雖然能有效控制一批薄膜的厚度均勻性，但卻不適用于對成品薄膜的抽樣檢測，因此必須配備非在線測厚設備。
薄膜厚度測試的方法有以下這些：
隨著科技的進步和精密儀器的應用，薄膜厚度的測量方法有很多，按照測量的方式分可以分為兩類：直接測量和間接測量。直接測量指應用測量儀器，通過接觸（或光接觸）直接感應出薄膜的厚度。
1、常見的直接法測量有：螺旋測微法、精密輪廓掃描法（臺階法）、掃描電子顯微法（SEM）；間接測量指根據一定對應的物理關系，將相關的物理量經過計算轉化為薄膜的厚度，從而達到測量薄膜厚度的目的。
2、常見的間接法測量有：稱量法、電容法、電阻法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。按照測量的原理可分為三類：稱量法、電學法、光學法。
3、常見的稱量法有：天平法、石英法、原子數測定法；常見的電學法有：電阻法、電容法、渦流法；
4、常見的光學方法有：等厚干涉法、變角干涉法、光吸收法、橢圓偏振法。
好了，以上便是對薄膜厚度測試的相關內容介紹了。