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氧氣源自備用臭氧發生器，每日需氧量在5~10 t/d時，氧源一般采用液氧，液氧儲罐和附屬裝置采用租賃方式比較經濟。每日需氧量>10t/d時，宜采用現場空氣制氧方式。當采用液氧時，液氧存儲天數在大投加率時為3.8~7.0天，當采用空氣制氧時，備用液氧罐的存儲天數約為2.0天，均滿足《室外給水設計規范》（GB50013-2006）中規定的要求。為保證臭氧發生器運行安全和經濟，對氧源品質有一定要求。調研水廠當采用液氧時，一般要求氧氣的濃度（95~99%）、露點（≤-70~-55℃）、碳氫化合物（＜15~25ppm、顆粒尺寸（＜0.1~2.0 μm，壓力（2.5~5bar）和溫度（5~30℃）。當采用空氣制氧時，一般要求氧氣的濃度（≥90%）、露點（≤-60℃）、碳氫化合物15~25ppm，壓力（2.5bar）和溫度（5~30℃）。

氧氣源自備用臭氧發生器，每日需氧量在5~10 t/d時，氧源一般采用液氧，液氧儲罐和附屬裝置采用租賃方式比較經濟。每日需氧量>10t/d時，宜采用現場空氣制氧方式。當采用液氧時，液氧存儲天數在大投加率時為3.8~7.0天，當采用空氣制氧時，備用液氧罐的存儲天數約為2.0天，均滿足《室外給水設計規范》（GB50013-2006）中規定的要求。為保證臭氧發生器運行安全和經濟，對氧源品質有一定要求。調研水廠當采用液氧時，一般要求氧氣的濃度（95~99%）、露點（≤-70~-55℃）、碳氫化合物（＜15~25ppm、顆粒尺寸（＜0.1~2.0 μm，壓力（2.5~5bar）和溫度（5~30℃）。當采用空氣制氧時，一般要求氧氣的濃度（≥90%）、露點（≤-60℃）、碳氫化合物15~25ppm，壓力（2.5bar）和溫度（5~30℃）。