氧源臭氧發生器的采購方法根據臭氧發生器的結構分為間隙放電式（DBD）和開放式。間隙放電型的結構特點是臭氧在內外電極之間的間隙中產生臭氧，臭氧可以集中收集輸出進行更高濃度的處理，如水處理。開放式發生器的電極暴露在空氣中，產生的臭氧直接擴散到空氣中。由于臭氧濃度低，通常只用于小空間的空氣消毒或一些小物體的表面消毒。可以用間隙放電發生器代替開路發生器。然而，間隙放電臭氧發生器的成本遠遠高于開放式臭氧發生器。

氧源臭氧發生器的采購方法分為冷卻方式，包括水冷型和風冷型。臭氧發生器工作時會產生大量的熱能，需要冷卻，否則臭氧會因高溫而在產生的同時被分解。水冷發電機冷卻效果好，運行穩定，無臭氧衰減，可長時間連續工作，但結構復雜，成本略高。風冷降溫效果不理想，臭氧衰減明顯。整體性能穩定的高性能臭氧發生器通常采用水冷。風冷一般只用于臭氧產量較小的中低品位臭氧發生器。在選擇發電機時，應盡可能選擇水冷發電機。

根據介質材料，有石英管（玻璃的一種）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管。目前市場上銷售的臭氧發生器都是各種介電材料制成的，性能各不相同。玻璃介質是較早用于人工臭氧生產的材料之一，但其機械強度較差。陶瓷與玻璃相似，但陶瓷不適合加工，特別是在大型臭氧機中。搪瓷是一種新型介電材料，因其機械強度高、加工精度高而廣泛應用于大中型臭氧發生器，但制造成本高。