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北京歐波同光學技術有限公...

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高分辨率掃描電鏡的檢測范圍和基本構造

閱讀:3537      發布時間:2021-10-21
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  高分辨率掃描電鏡是電子顯微鏡的一種,其原理是利用二次電子或背散射電子成像,對樣品表面放大一定的倍數進行形貌觀察,同時利用電子激發出樣品表面的特征X射線來對微區的成分進行定性定量分析,是我們材料研究分析中一雙亮麗的“眼睛”。掃描電鏡按照電子槍分類可以分為鎢(W)燈絲、六硼化鑭(LaB6)燈絲、場發射三種,場發射掃描電鏡相比于鎢燈絲、六硼化鑭,具有電子束斑小、高分辨率、穩定性好等特點。
 
  高分辨率掃描電鏡的檢測范圍:
 
  1.金屬、陶瓷、高分子、礦物、半導體、紙張、化工產品的顯微形貌觀察及材料的晶體結構、相組織分析;
 
  2.各種材料微區化學成分的定性定量檢測;
 
  3.粉末、微粒、納米樣品形態觀察和粒度測定;
 
  4.機械零件與工業產品的失效分析;
 
  5.鍍層厚度、成分與質量測定;
 
  6.生物、醫學和農業等領域。
 
  高分辨率掃描電鏡的基本構造:
 
  1.電子槍:也稱電子源,產生連續不斷的穩定的電子流。場發射電子槍與普通鎢絲電子槍有所不同,陰極呈桿狀,在它的一端有個極鋒利的尖點(直徑小于100nm),頂端的電場*,電子直接依靠“隧道”穿過勢壘離開陰極,由加速電壓加速產生高速電子流飛向樣品。一般來說,掃描電鏡加速電壓通常為1-30kV。
 
  2.電子透鏡:將從電子槍發射出來的電子匯聚成直徑最小為1-5nm電子束。
 
  3.掃描系統:使電子束作光柵掃描運動。

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