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產(chǎn)品簡介
CKD工藝氣體用閥采用金屬膜片的工藝氣體用閥新品種。
已作為采用鍛造閥體的通用型產(chǎn)品發(fā)布。
備有氣控型、手動型。
已作為采用鍛造閥體的通用型產(chǎn)品發(fā)布。
備有氣控型、手動型。
詳細介紹
CKD工藝氣體用閥行業(yè)標準：
化學氣體供給設(shè)備用元件
化學液體供給設(shè)備用元件
半導體制造工序（前工序）
氮氣清洗關(guān)聯(lián)元件
采用金屬膜片的工藝氣體用閥的核心產(chǎn)品。
除單體、集成型外，還備有3通閥、2連3通閥等種類豐富的產(chǎn)品。
行業(yè)
化學氣體供給設(shè)備用元件
化學液體供給設(shè)備用元件
半導體制造工序（前工序）
氮氣清洗關(guān)聯(lián)元件
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【標準工藝氣體用閥】
備有氣控型和手動型兩種。
配管口徑：1/4～1/2
接頭：備有雙卡套接頭和VCR同等產(chǎn)品。
CKD工藝氣體用閥選型指南：
| 型號 | 名稱 | 配管方式 | 備注 |
|---|---|---|---|
| LGD10-4RM | 手動閥 | 1/4”JXR公接頭 | |
| LGD10-4R | 手動閥 | 1/4”JXR母接頭 | |
| LGD10-4S | 手動閥 | 1/4”雙卡套接頭 | |
| LGD20-8RM | 手動閥 | 1/2”JXR公接頭 | |
| LGD20-8R | 手動閥 | 1/2”JXR母接頭 | |
| LGD20-6S | 手動閥 | 3/8”雙卡套接頭 | |
| LGD20-8S | 手動閥 | 1/2”雙卡套接頭 | |
| LGD1※-4RM | 氣控閥 | 1/4”JXR公接頭 | |
| LGD1※-4R | 氣控閥 | 1/4”JXR母接頭 | |
| LGD1※-4S | 氣控閥 | 1/4”雙卡套接頭 | |
| LGD2※-8RM | 氣控閥 | 1/2”JXR公接頭 | |
| LGD2※-8R | 氣控閥 | 1/2”JXR母接頭 | |
| LGD2※-6S | 氣控閥 | 3/8”雙卡套接頭 | |
| LGD2※-8S | 氣控閥 | 1/2”雙卡套接頭 |
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