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產(chǎn)品簡介
A3-SR系列反射式膜厚測量儀可用于測量半導(dǎo)體鍍膜，手機(jī)觸摸屏ITO等鍍膜厚度，PET柔性涂布的膠厚等厚度，LED鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。可用于測量2納米到3000微米的膜厚，測量精度達(dá)到0.1納米。 在折射率未知的情況下，還可用于同時(shí)對折射率和膜厚進(jìn)行測量。此外，還可用于精確測量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內(nèi)。ITO玻璃膜厚測量儀
詳細(xì)介紹
ITO玻璃膜厚測量儀
A3-SR-100產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)與配置詳細(xì)清單
A3-SR-100 反射式膜厚測量儀可用于測量半導(dǎo)體鍍膜，手機(jī)觸摸屏 ITO 等鍍膜厚度，PET 柔性 涂布的膠厚等厚度，LED 鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。A3-SR-100 可用于測量 10 納米到 100 微米的膜厚，測量精度達(dá)到 0.1 納米。 在折射率未知的情況下，A3-SR-100 還可用于同時(shí)對折射率和膜厚進(jìn)行測量。此外，A3-SR-100還可用于精確測量樣品 的顏色和反射率。樣品光斑在 1 毫米以內(nèi)。
A3-SR-100 進(jìn)行測量簡單可靠，實(shí)際測量采樣時(shí)間低于 1 秒。配合我們的 Apris SpectraSys 軟 件進(jìn)行手動(dòng)測量，每次測量時(shí)間低于 1 秒。Apris SpectraSys 支持 20 層膜以內(nèi)的模型并可對 多層膜厚參數(shù)進(jìn)行測量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫，同時(shí)支持 函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型 （Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。 同時(shí)，客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫對材料，菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測量結(jié)果。
目標(biāo)應(yīng)用： 半導(dǎo)體 玻璃減反膜測量 手機(jī)面板 ITO 玻璃 太陽能鍍膜玻璃 各種襯底上的各種膜厚，顏色測量 卷對卷柔性涂布 其他需要測量膜厚的場合
配手持式探頭,A3-SR-100可以用來一鍵式測量車燈罩表面硬化膜(包括過渡層)和背面的防霧層,精度達(dá)到0.02um, 只需1秒鐘,還可以測量內(nèi)飾件,外飾件的鋁陽極氧化層和漆層的厚度,精度達(dá)到0.02um
在汽車行業(yè)的主要測試:鋁合金陽極氧化層厚度，車燈燈罩表面硬化膜，過渡層、防霧層涂膜厚度。
國內(nèi)玻璃制造廠、內(nèi)飾件制造廠、
基本原理：
- 入射光在膜的上下表面發(fā)生多次反射
- 反射光的強(qiáng)度和薄膜折射率，基底(substrate)折射率及膜厚，波長有關(guān)n
- 在已知折射率的情況下，根據(jù)測量出的反射光強(qiáng)和波長的函數(shù)，計(jì)算出膜厚n
產(chǎn)品型號和系統(tǒng)設(shè)置：
產(chǎn)品型號 | A3-SR-100 |
產(chǎn)品尺寸 | W270*D217*（H90+H140） |
產(chǎn)品圖片 |
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測試方式 | 可見VIS 反射(R) |
波長范圍 | 380nm - 1050 nm |
光源 | 進(jìn)口 鎢鹵素?zé)?壽命10000小時(shí) |
光路和傳感器 | 光纖式(FILBER,進(jìn)口 )+進(jìn)口光譜儀 |
入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) |
參考光樣品 | 硅片 |
光斑大小 | About 1 mm（標(biāo)配，可以根據(jù)用戶要求配置） |
樣品大小 | 10 mm TO 300 mm (可以根據(jù)用戶要求配置) |
光學(xué)測量技術(shù)參數(shù)（OPTICAL SPECIFICATION）
測試方式 | 反射 |
膜厚測量性能指標(biāo)（THICKNESS SPECIFICATION）：
產(chǎn)品型號 | A3-SR-100 |
厚度測量1 | 15nm - 100 um |
折射率1（厚度要求） | 大于100nm |
準(zhǔn)確性2 | 2 nm 或0. 5% |
精度3 | 0.1 nm |
1表內(nèi)為典型數(shù)值, 實(shí)際上材料和待測結(jié)構(gòu)也會(huì)影響性能
2 使用硅片上的二氧化硅測量，實(shí)際上材料和待測結(jié)構(gòu)也會(huì)影響性能
3 使用硅片上的二氧化硅（500納米）測量30次得出的1階標(biāo)準(zhǔn)均方差,每次測量小于1秒.
軟件(SOFTWARE)：
檢測項(xiàng)目 | 標(biāo)準(zhǔn)型 |
層數(shù) | 10 層 |
材料 | 表格型和函數(shù)型 |
粗糙度模型 | 有 |
反射/透射 | 反射型+透射型 |
材料庫 | 表格型+函數(shù)型 |
入射角 | 垂直入射 |
折射率測量 | 有 |
售后服務(wù)（GARANTEE AND ASERVICE）：
基本服務(wù) |
1年免費(fèi)軟件升級 |
1年材料庫更新 |
1年免費(fèi)失效零件更換(燈泡，光纖，硅片除外) |
附件
產(chǎn)品型號 |
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光纖探頭(1m) |
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燈泡(10000小時(shí)） |
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硅片 |
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ITO玻璃膜厚測量儀