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*VAT閥門615系列
壓力控制
該控制器可確保快速，準(zhǔn)確的壓力控制。操作LEARN功能只需啟動(dòng)一次，系統(tǒng)參數(shù)是自動(dòng)確定的。由于自適應(yīng)算法的控制器連續(xù)適應(yīng)于加工過程條件（氣體、氣體流量），從而確保在任何時(shí)候都有壓力控制。
位置控制
在位置控制模式下，閥板可以移動(dòng)到任何位置。
顯示
狀態(tài)和位置是4位的數(shù)字顯示。
遙控操作
所述閥可以由主機(jī)計(jì)算機(jī)通過RS232、RS422、RS485、Logic、DeviceNet、以太網(wǎng)、現(xiàn)場總線、CC鏈路或EtherCAT的接口進(jìn)行控制。 RS232接口與現(xiàn)場總線也有數(shù)字輸入以關(guān)閉和打開所述閥。此外，數(shù)字輸出可用于開放和關(guān)閉（閥的狀態(tài)）?？刂仆ㄟ^邏輯控制接口，通過數(shù)字以及模擬輸入和輸出進(jìn)行。
應(yīng)用
半導(dǎo)體，FPD和工業(yè)過程，特別是化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。
*VAT閥門615系列
壓力控制
該控制器可確?？焖?，準(zhǔn)確的壓力控制。操作LEARN功能只需啟動(dòng)一次，系統(tǒng)參數(shù)是自動(dòng)確定的。由于自適應(yīng)算法的控制器連續(xù)適應(yīng)于加工過程條件（氣體、氣體流量），從而確保在任何時(shí)候都有壓力控制。
位置控制
在位置控制模式下，閥板可以移動(dòng)到任何位置。
顯示
狀態(tài)和位置是4位的數(shù)字顯示。
遙控操作
所述閥可以由主機(jī)計(jì)算機(jī)通過RS232、RS422、RS485、Logic、DeviceNet、以太網(wǎng)、現(xiàn)場總線、CC鏈路或EtherCAT的接口進(jìn)行控制。 RS232接口與現(xiàn)場總線也有數(shù)字輸入以關(guān)閉和打開所述閥。此外，數(shù)字輸出可用于開放和關(guān)閉（閥的狀態(tài)）?？刂仆ㄟ^邏輯控制接口，通過數(shù)字以及模擬輸入和輸出進(jìn)行。
應(yīng)用
半導(dǎo)體，FPD和工業(yè)過程，特別是化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。
