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善準分子泵機組MPU-90i詳細技術參數

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善準分子泵機組MPU-90i是由渦輪分子泵+前級泵+真空規組成的創新型產品,適用于掃描/透射電子顯微鏡(SEM/TEM)、質譜儀、低溫真空探針臺、真空鍍膜機、原子層/激光沉積設備(ALD/PLD)、真空退火爐、氦質譜檢漏儀、超高真空密封石英管等領域,為用戶提供超高真空一站式解決方案。

1.超高真空:極限真空度可達到10-6Pa,真空度觸摸屏數字顯示

2.操作簡易:提供中英文操作界面,觸摸屏一鍵啟動分子泵和前級泵

3.智能化控制程序:采用“IL智能化控制程序",防止誤操作損壞分子泵,控制軟件,操作簡易,安全可靠

4.一機兩用:前級泵可獨立使用,滿足粗真空下的使用場景;也可以前級泵+分子泵聯動使用,獲得超高真空環境,一機兩用,性價比高

5.安裝簡單:分子泵機組出廠前已完成分子泵、前級泵、觸摸屏安裝,且完成氣密性檢測

6.全量程真空規:真空測量范圍1x105-1x10-6Pa,垂直安裝確保測量準確

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