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1．測量原理：觸針法，差動電感傳感器。
2．取樣長度mm：0.25；0.8；2.5。
3．評定長度mm：N倍取樣長度，N＝1，2，3，4，5。
4．數字濾波器：國標濾波器，相位修正濾波器，不濾波。
5．量程：
位移的量程μm：4，20，100，500（μm）　　　　
Ra的量程μm： 0.2，1，10，50（μm）
6．分辨率：0.001μm；
7．測量參數：Ra，Rq，Rv，Rz，Rt，Rp，Rv，Rpm，Rtm，R3z，λa，λq，△a，△q，Sm，S，Sk，Rku，Hsc，Pc，Tp及tp曲線，幅度分布曲線。
8．微型計算機，漢字菜單選擇測量條件；測量數據存盤，取出及重新計算。
9．輸出設備： 打印機：EPSON1600K； 可選件：繪圖儀DXY-1100；
10．輪廓圖形：直接輪廓，濾波輪廓。
11．輪廓圖形的垂直放大比：X100000，X50000，X20000，X10000，X5000，X2000，X1000，X500，自動選定。
12．輪廓圖形的水平放大比：X200，X50，X20根據取樣長度自動選定。
13．打印紙規格：80列/行或A4。
14．驅動箱的滑行長度：40mm；
15．驅動箱的滑行速度：1mm/s；
16．傳感器：標準、小孔、深槽、圓弧、高分辨率五只傳感器，