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CG 4100-臨界尺寸掃描電子顯微鏡
  • CG 4100-臨界尺寸掃描電子顯微鏡
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貨物所在地:廣東深圳市

產(chǎn)地: 日本

更新時間:2025-05-11 21:00:21

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HITACHI CG 4100是一種掃描電子顯微鏡(SEM),設(shè)計用于提供非常小的物體和粒子的詳細3維圖像。它具有模塊化設(shè)計,允許使用一系列不同的檢測器和級來定制配置。基本構(gòu)型包括一個帶電子槍的真空室和一個用于試樣安裝的舞臺。

分辨率:1.8 nm
產(chǎn)量:42片/小時
MAM 時間:2.8 秒
級著陸精度:±1μm

HITACHI CG 4100臨界尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)

分辨率:1.8 nm產(chǎn)量:42片/小時MAM 時間:2.8 秒級著陸精度:±1μm

Hitachi CG 4100 是一款關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡 (CD-SEM),專為半導體和納米技術(shù)領(lǐng)域的高性能應用而設(shè)計。主要規(guī)格和功能包括:

  1. 分辨率:CG 4100 提供高分辨率成像功能,分辨率低至 1.8 納米,這對于詳細分析材料和半導體器件中的小特征至關(guān)重要。

  2. 吞吐量:該系統(tǒng)每小時可處理多達 42 片晶圓,適用于大批量制造環(huán)境。

  3. 載物臺精度:載物臺著陸精度為 ±1 微米,確保精確定位以實現(xiàn)一致的測量。

  4. 高壓操作:顯微鏡在高達150kV的加速電壓下工作,為更好的成像和分析提供高能量。

  5. 成像和分析:CG 4100 配備先進的電子光學元件和強大的電子槍,可提供出色的圖像清晰度和清晰度。它還包括自動對焦和導航系統(tǒng),以提高易用性和效率。

  6. 軟件和自動化:CG 4100 具有智能自動化功能,包括自動機械臂、圖像分析軟件和可定制的配置,以滿足各種用戶需求。這樣可以快速準確地收集和分析數(shù)據(jù)。

  7. 模塊化設(shè)計:模塊化設(shè)計允許使用不同的探測器和載物臺進行可定制的配置,以適應特定應用,例如吸收和發(fā)射光譜、高分辨率成像和能量色散光譜。

這些特性使 Hitachi CG 4100 成為各種科學和工業(yè)應用中詳細 3D 成像和分析的理想選擇



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