名稱：KSLA-Tencor SFS6420

制造商：KLA-Tencor

尺寸：8英寸

粒子檢測與計數(shù)

用于檢測粗糙表面如多晶硅和鎢的亞微米粒子

提供比0.10 μm更優(yōu)敏感性的精細度

表面分析工具

設計用于滿足廣泛應用的需求

利用最新光學技術，易于在粗糙表面上檢測亞微米粒子的能力

高速自動化測試

能實時分析現(xiàn)場條件，適用于在線和離線應用

每小時可運行500個晶圓的自動化測試能力

多傳感器技術

提供創(chuàng)新的特性，如多傳感器技術

實時信息提供

通過統(tǒng)計分析和趨勢分析為用戶提供與產(chǎn)品質(zhì)量相關的實時信息

晶圓檢測系統(tǒng)

用于監(jiān)控裸硅晶圓及其表面粒子和缺陷

PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420

與KLA-Tencor的其他設備兼容，用于PCB組裝板下的WFR檢測