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HPD III將高純度高壓氣體壓力降低到接近大氣壓，以便PMS粒子計數器對≥ 0.2 µm的氣溶膠粒徑通道進行精確采樣。HPD的工作原理是將部分氣體從系統中擴散出來，將氣體壓力降低到接近大氣壓，使粒子計數器的流量計量系統能夠按設計運行。HPD III兼容的PMS粒子計數器包括AirNet、IsoAir、Lasair Pro和Lasair III。HPD III粒子監測附件將有效地把氣體管道的壓力從120磅/平方英寸降低到大氣壓力，適用于無毒，如清潔干燥空氣(CDA)、氬氣(N2)、氮氣(Ar) 和二氧化碳(CO2)。請參閱下表，直觀地了解粒子計數器可兼容的氣體種類。
HPDIII 有兩種配置：
• HPD III-低壓適用于壓力小于~25 psi的氣體管道
• HPD III-高壓適用于壓力在~20和150psi之間的氣體管道
無活動部件磨損
連接4-VCR公接頭
排氣過濾裝置防止可能造成的污染
提供安裝夾
不銹鋼結構
測量25至100磅/平方英寸的氣體（100升/分鐘時為60至100磅/平方英寸）
無需外部流量儀表
污染程度低，ISO I級或II級清潔度<5%
用常壓粒子計數器對高壓氣體進行監測
可用于清潔的干燥氣體、氬氣、氮氣或其他無毒的惰性氣體
有四種不同的版本，分別用于0.1 CFM、1.0 CFM、50 LPM和100 LPM的流速
壓縮氣體
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