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等離子清洗機注意事項

閱讀:753        發布時間:2021-11-29

等離子清洗機操作使用注意事項



  1. 保持儀器整體清潔,不要處理潮濕樣品。

  2. 儀器安裝位置要合適:真空泵與儀器主機的安裝高度差最好大于90厘米。

  3. 運行工藝最好是從短時間,低功率開始介入,摸索出適合自己實驗的工藝,盡量避免一成不變的套用各種文獻的工藝,各種文獻所述工藝僅供參考。

  4. 避免通入易燃和有腐蝕性氣體工作,例如氨氣和純氫氣,可以采用氮氫混合氣來代替。

  5. 手動運行儀器時,一定要保證艙體內真空度達到標準(60Pa)后方可通入外加氣體,給入射頻等操作。

  6. 盡量避免使用一些特殊氣體,如四氟化碳,因為長時間使用,會導致碳元素大量附著在電極板,導致儀器效率下降,如果必須使用的話,建議采購石英艙體電感式儀器。

  7. 采用浮子流量計進氣時,盡量做到進氣和抽氣達到一個動態平衡,通過手動調節流量計的進氣旋鈕來實現。

  8. 外接進氣鋼瓶的進氣壓力控制在0.1-0.3Mpa,直接進入空氣的忽略此參數。

  9. 常規儀器清潔使用酒精擦拭或者紫外照射即可。

  10. 使用一段時間后,注意觀察真空泵的真空油位和渾濁程度,如果發現真空由過少或者渾濁請及時添加或者更換真空油。



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