Agilent安捷倫 CombiNEG吸氣劑復合型離子泵在 40 L/s VacIon 泵中集成了大容量 D400-2 非蒸散型吸氣劑泵芯。吸氣劑泵可為活性氣體提供超高抽速（高達 400 L/s 氫氣），而三極離子泵可為氬氣和其他殘留惰性氣體提供較高抽速。經優化的磁場和真空燒制工藝進一步提高了性能，可減少低壓下的氣體逸出。內部防護罩可延長 NEG 的使用壽命。

Agilent安捷倫 CombiNEG吸氣劑復合型離子泵是一款可處理大量惰性氣體的泵，能夠以高抽速和大容量處理甲烷、氬氣和氦氣。這款泵非常適合需要在超高等真空狀態下達到高抽速的高要求應用。

產品參數

產品特點

·三極離子泵抽氣單元可快速抽除惰性氣體，而吸氣劑泵可快速抽除活性氣體，二者結合可達到較高的組合抽速，縮短達到超高真空等真空狀態所需的時間。

·燒結吸氣劑泵的設計緊湊，可提供比質量較差的壓結末吸氣劑泵更好的解決方案，并消除粉末進入系統的風險。

·配備 ConFlat 4.5 英寸非旋轉型法蘭以及用于吸氣劑泵的額外 ConFlat 2.75 英寸法蘭。

·可以選擇不同方向的真空穿導件，實現靈活性。

·無活動部件，確保在高靈敏度應用中無振動運行。

·低漏電流可提供穩定的真空壓力讀數。

·低磁場可減少系統干擾。

·在 > 400 °C 的條件下進行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性。

產品尺寸

產品選型