透射電鏡原位MEMS液體電化學測量系統，采用全新的O圈輔助密封設計，更易封裝液體。實驗中，樣品被密封在超薄氮化硅薄膜覆蓋的液體池內，池內可以承載一個大氣壓。芯片電極聯通外接電路，從而在電鏡中搭建一個液體-電化學測試環境。

性能指標：

● 兼容TEM真空度；

● 液體池間隔層厚度小100 nm；

● 液體池內可載入氣體或液體，池內可承載1個大氣壓，池外滿足電鏡真空要求；

● 電壓輸出大±200 V，小分辨率±100 nV；

● 電流測量大±1.5 A，小分辨率±100 fA；

● 恒壓或者恒流模式。

● 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。

透射電鏡原位MEMS液體電化學測量系統