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采用薄膜按鍵+液晶屏控制，實時顯示儀器的運行狀態。
采用內置兩路MFC控制氣體流量
產品簡介
詳細介紹
| 設備名稱:內置MFC等離子清洗機 型號：SAT-5D 品牌：賽奧特（SAT) 生產廠家：賽奧特（北京）科技有限公司 | ||
| 技 術 參 數 | ||
| 序號 | 項目名稱 | 詳細參數 |
| 1 | 主要應用 | 1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡單刻蝕 7.去除表面有機物 8.疏水實驗 9.鍍膜前處理等 |
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2 |
主要特點 | 1．實時檢測和顯示真空度，真空度準確使得機器在智能控制下有了可靠的依據 |
| *2．艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料，耐用防腐蝕 | ||
| *3.采用電容式 Plasma激發，實驗效果穩定，均勻可靠 | ||
| *4．采用薄膜按鍵+液晶屏顯示控制，手動，自動兩種模式任意切換 | ||
| 5．程序化設計，預先編輯好程序，儀器自動完成實驗 | ||
| 6.無需任何耗材，使用成本低，無需特殊進行維護，在日常使用中保持儀器清潔即可，密閉真空環境下完成實驗避免二次污染 | ||
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3 |
技術規格 | 艙體尺寸： 255X150（直徑）mm ，不銹鋼艙體 |
| 頻率：13.56MHz 頻率偏移量＜0.2MHz 電源220V/50Hz | ||
| 射頻功率:150W，10到150W無極可調，精度：1瓦 | ||
| 時間設定：1秒到99分59秒 | ||
| 氣體穩定時間：60秒 氣路設置：內置兩路MFC控制 | ||
| 外形尺寸: 552X590X295mm 整機重量： 28Kg | ||
| 4 | 基本配置 | 主機 + 真空系統（真空泵 油霧過濾器 真空管 法蘭） + 外加氣體軟管 樣品托盤 + 說明書 + 電源線 + 合格證 |
內置MFC等離子清洗機