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Pluto-MD(8L)小型等離子去膠機特點：

1. 桌面型，普通實驗臺即可安置。操作簡便上手快、使用成本極低、易于維護。1

2.適合于4~6寸硅片及相同面積去膠，可選配硅片專用托盤。

3.內置雙層氣浴電極，有效提高清洗效率。配有節流閥，防止真空泵油霧回流。可選配耐用電極，降低長時間使用后的腔體污染。

4.配置200W/13.56MHz等離子發生器。兼顧物理作用和化學作用。

5.具備前后吹掃功能，保證樣品處理潔凈度，可配置獨立吹掃氣路。

6.可選配電極間距可調，對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和表面改性。

Pluto-MD(8L)小型等離子去膠機參數：

Pluto-MD(8L)小型等離子去膠機應用：