目錄:上海沛沅儀器設(shè)備有限公司>>小型等離子清洗機>>實驗室小型等離子清洗機>> PLUTO-MD(8L)等離子去膠機廠家
| PLUTO-MD小型等離子去膠機參數(shù) | |
| 真空腔 | 不銹鋼腔體，ф210mm*230mm |
| 電極 | 兩個自適應(yīng)平板電極，材質(zhì)： 6061-T6鋁合金 |
| 電極尺寸 | 125*125mm，間距20-75mm可調(diào) |
| 等離子體發(fā)生器 | RF射頻發(fā)生器，頻率： 13.56MHz； 自適應(yīng)阻抗匹配電源 |
| 功率 | 0-200W連續(xù)可調(diào)，精度1W |
| 氣體控制 | 2路，針式氣體流量閥， 0-300ml |
| 工藝氣體要求 | 1/4英寸卡套接口/15~30 psig |
| 工藝氣體種類 | CF4=99.97%； 02=99.996%； N2=99.99%；Ar=99.999%；其余氣體請咨詢！ |
| 控制方式 | 4.3寸工業(yè)控制觸摸屏；控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態(tài) |
| 保護裝置 | 一鍵急停保護按鈕 |
| 外部尺寸 | 404*640*615mm |
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