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技術(shù)文章

美國Brooks壓力控制器PC100系列有現(xiàn)貨?

閱讀:828          發(fā)布時間:2022-11-2

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美國Brooks壓力控制器PC100系列有現(xiàn)貨


PC100系列金屬密封壓力控制器穩(wěn)定的壓力控制以及更高的過程氣體純度,最大限度優(yōu)化處理效果

 

布魯克斯儀器的金屬密封壓力控制器的設(shè)計特點是經(jīng)久耐用,同時還具備持久和得到認可的準確性,液體測量和控制領(lǐng)域的企業(yè)用戶均信賴布魯克斯。我們的電子壓力控制器將核心控制技術(shù)用于自身業(yè)內(nèi)的熱質(zhì)量流量控制器。


電子壓力控制器不存在傳統(tǒng)機械彈簧式隔膜壓力調(diào)節(jié)器所導致的衰減和滯后問題。同時,選擇金屬密封壓力控制器可提高氣體純度,原因是此類控制器不使用會發(fā)生氧滲透的彈性體,并且金屬密封件能夠減少維護次數(shù)可無限期使用。


另外還提供帶有內(nèi)部壓力傳感器的布魯克斯壓力控制器以在 torr 級至 500 psig 范圍內(nèi)進行壓力控制。結(jié)果:能夠始終確保關(guān)鍵半導體工藝準確執(zhí)行并得到嚴格控制的壓力控制器。


應用

硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD

設(shè)計精密的表面涂層

分析系統(tǒng)

真空處理應用

 

以上內(nèi)容由上海維特銳提供;詳情請點擊:美國Brooks壓力控制器PC100系列有現(xiàn)貨

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