Physik Instrumente U-523 PILine線性平臺

精密級線性定位平臺

PILine平臺尤其適合要求快速精密定位的應(yīng)用。關(guān)機后，自鎖驅(qū)動器保持平臺位置的機械穩(wěn)定。因而可大大減少能量消耗和熱量產(chǎn)生。蓄電池驅(qū)動或熱敏型的低占空比應(yīng)用可得益于這些特點。軸的位置通過一個編碼器和一個光學參考開關(guān)測量，該開關(guān)允許可靠的可重復(fù)運動。壓電電機驅(qū)動器原理及其電氣操作成本低，可定制。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學編碼器以*的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

PILine超聲波壓電電機

作為PILine超聲波壓電電機*的一部分，壓電陶瓷促動器上被施加預(yù)載，通過一個耦合元件抵住移動導(dǎo)向轉(zhuǎn)子。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下，壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運動。建立的進給為幾納米每循環(huán)；高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動器上相對于動輪施加預(yù)載可確保驅(qū)動器在靜止狀態(tài)下和關(guān)機時自鎖。

應(yīng)用領(lǐng)域

顯微操縱、自動化、生物科技、樣本操縱、樣本定位、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空應(yīng)用可達10^-6百帕（可選）.

Physik Instrumente U-523 PILine線性平臺

• 快速定位
• 節(jié)省空間，重量輕巧
• 高導(dǎo)向精度
• 傳感器分辨率高達10 納米
• 自鎖，靜止狀態(tài)下無熱量產(chǎn)生
• 低噪音操作