化工儀器網(wǎng)
維薩拉 K-PATENTS® 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于晶圓潔凈室里的化學(xué)品濃度監(jiān)測(cè)，通常被安裝在混合、清洗、蝕刻和 (CMP) 等機(jī)臺(tái)上。
PR-33-S 包含改良超純 PTFE 流通池和以太網(wǎng)線，任何標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)供電 (PoE) 開(kāi)關(guān)均可通過(guò)以太網(wǎng)線向傳感器供電，并將數(shù)據(jù)傳輸給計(jì)算機(jī)。PR-33-S 實(shí)時(shí)監(jiān)控化學(xué)品濃度，并立即通過(guò)以太網(wǎng)信號(hào)輸出，當(dāng)化學(xué)品濃度超出規(guī)定范圍時(shí)，可通過(guò)配置過(guò)低濃度和過(guò)高濃度警報(bào)來(lái)控制和延長(zhǎng)使用周期。該儀器通過(guò)光學(xué)原理測(cè)量溶液的折射率 nD 和溫度，從而獲得溶液濃度。
PR-33-S 直接通過(guò)柱形或喇叭形配件串接來(lái)進(jìn)行安裝，而且結(jié)構(gòu)緊湊，不含金屬，占地面積小。
關(guān)鍵要素：
N.I.S.T. 標(biāo)準(zhǔn)下的可追溯校準(zhǔn)及驗(yàn)證，采用標(biāo)準(zhǔn)折射率液體和驗(yàn)證程序進(jìn)行驗(yàn)證。
*光學(xué)核心設(shè)計(jì)。
通過(guò)以太網(wǎng)進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄和遠(yuǎn)程界面操作。
標(biāo)準(zhǔn) UDP/IP 通信。
過(guò)程溫度范圍：-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)。
內(nèi)置 Pt1000 快速溫度測(cè)量及自動(dòng)溫度補(bǔ)償
- 全數(shù)字化設(shè)備維薩拉 K?PATENTS® 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于過(guò)程監(jiān)控，可提供連續(xù)的以太網(wǎng)輸出信號(hào)，設(shè)計(jì)緊湊，可直接串接在過(guò)程管路上。
- 滿量程下保持精確穩(wěn)定測(cè)量折光率測(cè)量范圍 nD 1.3200–1.5300，相當(dāng)于 0-100%（重量百分比）。對(duì)于高濃度 HF，可選范圍為 nD 1.2600–1.4700。標(biāo)稱(chēng)準(zhǔn)確度為 R.I.+ 0.0002，通常相當(dāng)于 0.1%（按重量百分比計(jì)），例如，鹽酸濃度。
測(cè)量不受顆粒、氣泡、紊流及 PPM 濃度級(jí)別微量雜質(zhì)影響。 - 易于維護(hù)*光學(xué)核心設(shè)計(jì)。
無(wú)漂移。無(wú)需重新校準(zhǔn)。無(wú)需進(jìn)行機(jī)械調(diào)節(jié)