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945Y 型隔膜閥連接兩個(gè)閥門到一個(gè)單獨(dú)的緊湊型閥門，簡(jiǎn)化了吹掃系統(tǒng)進(jìn)入氣箱的系統(tǒng)集成，并且提高了吹掃系統(tǒng)在超高純半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用的有效性。
產(chǎn)品分類品牌分類
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
派克PARKER高壓隔膜閥產(chǎn)品描述：
945Y系列隔膜閥將兩個(gè)閥門組合成一個(gè)單獨(dú)的緊湊型閥體，從而簡(jiǎn)化了將吹掃系統(tǒng)集成到氣箱的系統(tǒng)集成，并提高了吹掃效率。從真空到3,500 psig，該系列產(chǎn)品抗漏能力出色、使用壽命長(zhǎng)、生成雜質(zhì)的少，使它成為特氣柜、閥箱、上游生產(chǎn)線等高壓超高純半導(dǎo)體應(yīng)用的理想選擇。可提供多種手動(dòng)操作器和氣動(dòng)（AOP）驅(qū)動(dòng)。內(nèi)部采用無彈簧和無螺紋設(shè)計(jì)，大幅減少雜質(zhì)的生成和氣體的卷入，清潔度高、過程污染少。這種閥還配有壓桿，使其不需要螺紋組件或卡口操作就能夠?qū)崿F(xiàn)密封。
945Y系列新穎的設(shè)計(jì)能夠控制閥座和膜片的壓力，使其服務(wù)壽命穩(wěn)定、免維護(hù)。與流體接觸的部分由Veriflo的VeriClean 316L內(nèi)部經(jīng)過電解拋光的不銹鋼構(gòu)成。閥座可選擇PCTFE（聚三氟氯乙烯）、PEEK®（聚醚醚酮）或 Vespel®(聚酰亞胺樹脂）材質(zhì)，可適用從危險(xiǎn)流體到惰性流體等多個(gè)范圍。閥的膜片由高強(qiáng)度的鈷基合金構(gòu)成。這些材料構(gòu)成了945Y系列鮮明的設(shè)計(jì)特征，使其在非常高的進(jìn)口壓力下具有杰出的防腐蝕性，穩(wěn)定性以及清潔性。應(yīng)用在幾種流量管道中，適應(yīng)入口流量，出口流量，也可應(yīng)用在普通管道進(jìn)行吹掃應(yīng)用。內(nèi)部的死角體積被盡可能的減小以提高吹掃的有效性。這個(gè)系列的氣動(dòng)閥被設(shè)定成能夠用限位開關(guān)來提供開-關(guān)的位置指示。
945Y閥生產(chǎn)于100級(jí)的潔凈車間。內(nèi)部（閥座）密封及金屬外部密封均采用質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄漏實(shí)驗(yàn)，以獲得在高要求超高純應(yīng)用中出色的穩(wěn)定表現(xiàn)。
派克PARKER高壓隔膜閥特點(diǎn)/優(yōu)勢(shì)：
• Y閥構(gòu)造允許更大化的操作連接同時(shí)減少了空間的需求
• 10微英寸（Ra）電解拋光表面光潔度
• 高使用壽命（包括腐蝕性條件下）
• 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計(jì)大幅減少了雜質(zhì)的生成和氣體的卷入
• 從真空到3,500 psig適用
• 內(nèi)部泄漏率：≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部泄漏率：≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 標(biāo)稱AOP驅(qū)動(dòng)壓力為75 psig
• Cv 0.25（HP,NC,NO,I），Cv 0.18（M），Cv 0.17放空閥
派克PARKER高壓隔膜閥應(yīng)用：
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具連接
• 特氣柜
• 閥箱
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